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HJT高效電池PECVD非晶硅薄膜設備陶瓷零件

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大產能設計，基于166硅片10000片/小時以上產能，兼容156-210硅片，成本比較低
RF+RPSC雙電源設計，確保鍍膜和自清潔互不干擾，各自工作在較佳狀態
配套自主設計的高精度自動化傳輸設備
18626293879
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